图书介绍

CdZnTe共面栅核探测器模拟设计和制备工艺研究【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

闵嘉华著著
出版社：上海：上海大学出版社
ISBN：9787811185133
出版时间：2010
标注页数：132页
文件大小：41MB
文件页数：152页
主题词：博士－学位论文－汇编－上海市－2006

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图书目录

第一章绪论1

1.1核辐射探测器件1

1.1.1核辐射探测器的发展1

1.1.2探测器的性能指标5

1.1.3 γ射线与物质的相互作用7

1.1.4脉冲幅度谱的获得机理13

1.1.5 CZT探测器的基本工作原理17

1.2国内外CZT探测器研究概况18

1.2.1国外研究概况18

1.2.2国内研究概况20

1.3 CZT探测器制备过程中的关键问题21

1.4论文的研究意义、主要研究目的和内容23

1.4.1论文研究意义23

1.4.2本论文主要研究目的和内容25

第二章CZT共面栅核探测器有限元模拟27

2.1权重势理论27

2.2共面栅探测器的基本工作原理28

2.3电子俘获和电荷感应效率及感应效率的计算32

2.3.1电子俘获和电荷感应效率32

2.3.2感应效率的计算34

2.4模拟结果与讨论35

2.4.1共面栅器件电极的条宽和间距尺寸的优化选择35

2.4.2响应深度均匀性的改善——电子俘获修正技术37

2.4.3电极边缘效应的消除40

2.4.4保护环对器件内部权重势分布的影响45

2.5本章小结47

第三章CZT器件表面钝化的研究48

3.1 CZT晶片表面钝化膜的制备工艺49

3.1.1 CZT晶片的表面抛光及腐蚀49

3.1.2 CZT晶体的表面钝化实验过程52

3.2 CZT晶片钝化膜的组分分析——AES微观表征52

3.3 CZT晶片钝化膜厚度的红外椭圆偏振仪测量60

3.3.1红外椭圆偏振仪测量简介60

3.3.2实验过程61

3.4钝化工艺对器件I-V特性的影响65

3.5本章小结71

第四章CZT共面栅电极的制备研究73

4.1 CZT器件欧姆接触形成机理74

4.2 CZT半导体晶片与不同工艺沉积的Au的接触特性75

4.3不同电极接触的附着力测试77

4.4 CZT共面栅电极的制备79

4.5本章小结81

第五章CZT共面栅探测器信号读出电路的设计研究83

5.1 CZT探测器的信号输出83

5.2 CZT探测器的前置放大器84

5.2.1电荷灵敏放大器85

5.2.2电荷灵敏前置放大器的主要参数87

5.3 CZT共面栅探测器读出电路的设计94

5.3.1 protel共面栅电路设计95

5.3.2电路版图设计与制作99

5.3.3电路测试100

5.4本章小结105

第六章CZT共面栅探测器制备研究107

6.1共面栅器件光刻掩膜版的设计107

6.2 CZT共面栅器件的制备工艺108

6.3共面栅CZT探测器件与信号读出电路的组装110

6.4共面栅CZT探测器性能测试111

6.5本章小结113

第七章结论与展望114

7.1主要结论与创新点114

7.2展望117

参考文献119

作者在攻读博士学位期间公开发表的论文及发明专利128

攻读博士学位期间所参与的项目130

致谢131