图书介绍
半导体器件译丛 3 总第10期【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

- 济南市半导体元件实验所情报资料室编辑 著
- 出版社: 济南市半导体元件实验所情报室资料室
- ISBN:
- 出版时间:1971
- 标注页数:62页
- 文件大小:21MB
- 文件页数:65页
- 主题词:
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图书目录
(1)氮化硅通过氧的影响转变为二氧化硅1
(2)硅上氮化硅和氮氧化硅薄膜作扩散掩蔽10
(3)氧化硅做氮化硅的腐蚀掩蔽14
(4)用氯进行硅气相腐蚀16
(5)锑扩散的掺杂氧化物淀积系统21
(6)硅器件工艺过程中氯化氢吸附的使用28
(7)离子沾污引起的低电流hFE的退化32
(8)hFE的雪崩衰降47
(9)半导体片中掺杂分布的直接图示方法59
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