图书介绍
半导体物理实验【2025|PDF|Epub|mobi|kindle电子书版本百度云盘下载】

- 孙恒慧,包宗明主编 著
- 出版社: 北京:高等教育出版社
- ISBN:13010·01169
- 出版时间:1985
- 标注页数:311页
- 文件大小:11MB
- 文件页数:326页
- 主题词:
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图书目录
实验一 激光测定硅单晶晶轴1
实验二 硅单晶中晶体缺陷的腐蚀显示11
实验三 四探针法测电阻率24
实验四 扩展电阻探针法测量硅片微区电阻率变化及电阻率深度分布39
实验五 电容-电压法测杂质浓度分布52
实验六 二次谐波法测杂质浓度分布61
实验七 硅单晶的霍耳效应与电导率69
实验八 硅单晶杂质补偿度的测量83
实验九 光电导衰退法测量硅单晶中少数载流子的寿命97
实验十 光磁效应光电导补偿法测量少数载流子寿命108
实验十一 表面光电压法测量硅少数载流子扩散长度118
实验十二 热激电容热激电流法测量硅中深能级中心128
实测十三 瞬态电容法测量硅中深能级中心142
实验十四 用深能级瞬态谱(DLTS)法测量硅中的深能级中心154
实验十五 高频MOS电容-电压关系测量172
实验十六 MOS电容法测量硅的产生寿命和表面产生速度186
实验十七 用三角波电压扫描法检测二氧化硅层中可动离子面密度197
实验十八 扫描内光电法测量硅-二氧化硅界面可动正离子的横向分布209
实验十九 用热激电流法测量硅-二氧化硅界面态密度分布220
实验二十 用准静态技术测量硅-二氧化硅界面态密度分布233
实验二十一 硅-二氧化硅界面态密度分布的计算机数据处理249
实验二十二 超高真空下测量半导体表面吸附气体后功函数的变化265
实验二十三 用椭圆偏振仪测量半导体表面介质薄膜的厚度和折射率279
附录 索引304
物理常数表310
常见单位的名称和符号311
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